今天漓源環(huán)保多晶硅生產(chǎn)廢水處理方法，多晶硅材料是主要的光伏材料，市場占有率在90％以上，多用于半導(dǎo)體和太陽能電池。通常，多晶硅材料按純度可分為冶金級(mg)、太陽能級(sg)和電子級(eg)，其中電子級一般要求含si＞99.9999％以上。多晶硅生產(chǎn)技術(shù)在我國發(fā)展起步較晚，目前國內(nèi)建成投產(chǎn)或正在建設(shè)的多晶硅企業(yè)大都采用了國外先進(jìn)生產(chǎn)技術(shù)，如西門子法、硅烷法、流化床法等。西門子法是通過氣相沉積方式生產(chǎn)柱狀多晶硅，為提高原料利用率，在原工藝基礎(chǔ)上采用閉環(huán)式生產(chǎn)工藝即為改良西門子法，該法多晶硅產(chǎn)能占世界產(chǎn)能的80％。國內(nèi)大部分企業(yè)因規(guī)模和成本原因并未實(shí)現(xiàn)物料的全閉路循環(huán)，對氯硅烷低沸物、氯化氫、系統(tǒng)尾氣和開停、檢修置換尾氣只進(jìn)行洗滌塔淋洗操作后，一并排入“三廢”處理系統(tǒng)。

生產(chǎn)尾氣(廢氣)主要含有大量hcl、氯硅烷(sihcl3、sih2cl2、sicl4)、h2、n2，由于氯硅烷極易水解，常采用堿液洗滌，如稀naoh溶液和石灰乳等。氯硅烷和氯化氫發(fā)生水解中和，形成氯鹽和硅酸鹽混合物。氫氣、氮?dú)?、水蒸氣可直接排放到空氣中，過程涉及到的化學(xué)反應(yīng)主要有：

sihcl3+h2o→sio2+hcl+h2

hcl+naoh→nacl+h2o

hcl+ca(oh)2→cacl2+h2o

sicl4+naoh→h4sio4+nacl

h4sio4+naoh→na2sio3+h2o

h4sio4+ca(oh)2→casio3+h2o

尾氣洗滌廢水是多晶硅生產(chǎn)廢水主要組成部分，一般占生產(chǎn)廢水總量90％以上，且隨工藝廢氣排放量、氯硅烷和氯化氫濃度變化而變化。尾氣洗滌廢水與其余多晶硅行業(yè)廠區(qū)內(nèi)廢水(純水排污水、腐蝕清洗水、硅芯加工潤滑水、地面沖洗水、生活污水等)在廢水站調(diào)節(jié)池混合后，形成含鹽廢水。含鹽廢水含鹽量較高，tds變化范圍在30000～60000mg/l，鹽分以氯化鈣和氯化鈉為主；同時(shí)帶有大量懸浮固體，如微量硅粉、sio2、casio3、na2sio3、si(oh)4和ca(oh)2等，懸浮物含量ss可達(dá)到5000mg/l以上；含鹽廢水中性偏堿性，含有微量有機(jī)物和重金屬，cod含量基本在150mg/l以下。

目前，針對多晶硅行業(yè)廠區(qū)內(nèi)產(chǎn)生的綜合性工業(yè)含鹽廢水，多晶硅生產(chǎn)廢水處理方法通常采用混合加藥、多級沉淀等工藝去除廢水中懸浮物，降低廢水中有機(jī)物和重金屬含量，得到氯離子含量較高的廢水，氯離子含量在10000～30000mg/l。處理后的含氯廢水排至廠內(nèi)或所在園區(qū)污水處理廠，處理達(dá)標(biāo)后排放。

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